第三方儀器校準計量中心供應檢驗校正服務

以下是激光干涉儀校準的一般規程：

校準前準備

• 環境條件控制：溫度控制在20℃±2℃范圍內，且校準過程中波動要小，可使用空調或恒溫設備；濕度保持在40%-60%，通過除濕或通風設備調節；將儀器置于隔振平臺上，平臺要水平且遠離振動源。

• 儀器預熱：按儀器說明書要求進行預熱，通常需開機預熱20分鐘以上，使儀器達到穩定工作狀態。

• 光學元件清潔：用無水乙醇和鏡頭紙輕輕擦拭激光發射器、接收器的光學窗口及反射鏡表面。

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校準項目與方法

• 激光波長校準：采用已知長度的標準具或基準尺作參考，如高精度量塊。啟動儀器，讓激光通過標準具，測量激光在標準長度下的干涉條紋數，通過多組數據計算實際波長。若與理論值有偏差，通過調節裝置調整。

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• 直線度校準：將被測設備安裝在直線導軌上，反射鏡固定在末端，調整激光發射器使激光束與導軌平行。移動被測設備，反射鏡沿導軌做往復運動，干涉儀采集干涉條紋數據并轉換為位移數據，分析得到直線度誤差，超范圍則調整設備安裝位置或機械結構。

• 光路校準：檢查激光路徑，確保干涉鏡和反射鏡安裝正確、對準精確。可通過調整相關部件，使激光束準確傳播和反射，保證光路偏差在允許范圍內。對于部分激光干涉儀，需按特定步驟調節光路，如美國光動激光干涉儀，要先近后遠進行調節，使反射光線重合并進入回光孔，保證光強指示燈全亮。

校準后處理

校準完成后，填寫校準記錄，內容包括校準日期、人員、儀器型號及編號、校準項目、結果等。依據校準結果，對儀器粘貼相應標簽，合格則貼合格標簽，不合格需送修并重新校準。